什么是波長掃描光源？

波長掃描的光源發(fā)出連續(xù)掃描波長的激光。適合形狀 利用光學(xué)傳感OFDR（光頻域反射計(jì)）進(jìn)行測(cè)量和位移測(cè)量 使用激光相干性的方法。OFDR方法也被廣泛稱為FMCW（調(diào)頻 連續(xù)波）方法。

波長掃描光源用作在精度等廣泛領(lǐng)域進(jìn)行傳感的光源 測(cè)量、振動(dòng)測(cè)量、表面檢測(cè)、OCT 等工業(yè)應(yīng)用、醫(yī)療應(yīng)用等 作為眼科OCT和血管內(nèi)OCT，基礎(chǔ)設(shè)施/工廠測(cè)量應(yīng)用，例如 大型結(jié)構(gòu)的位移/波動(dòng)和長度測(cè)量。

安立的波長掃描光源通過連續(xù)執(zhí)行來提供高相干波長的掃描光 以及在具有窄線寬的單個(gè)縱向模式下進(jìn)行無跳模波長掃描。這些掃過的光 光源可用于更遠(yuǎn)的距離和更高的精度進(jìn)行測(cè)量。

安立波長掃描光源通過光學(xué)排列改進(jìn)了標(biāo)準(zhǔn)的利特曼排列，因此 MEMS掃描鏡可用于實(shí)現(xiàn)高速波長掃描。在該光學(xué)系統(tǒng)中，該區(qū)域來自 MEMS掃描鏡反射面的有效空腔端面由外腔， 在由腔長決定的多個(gè)垂直模式中，只有一種模式由波長獲得 選擇衍射光柵的選擇性進(jìn)行振蕩。

安立波長掃掠光源概述

下圖示意性地描繪了衍射光柵的波長選擇性，由 MEMS掃描鏡，以及所選振蕩模式的變化。

安立波長掃描光源的振蕩模式變化

特征

• 中心波長：1，550 nm（也可以支持1060 nm）

• 掃描頻率 ： 150 Hz*1或 1，250 Hz*2

• 波長掃描寬度 ： 15 至 70 nm*1或 30 至 110 nm*2

• 平均光輸出功率：10 mW以上

• 振蕩模式：單縱向和無跳模

• 相干長度（參考值）：100m以上*1（Δλ=25 nm）， 10 m 或更長*2（Dl=30 nm）

*1 AQB5500P/AQB5500D*2 AQA5500P/AQA5500D

應(yīng)用

精密厚度測(cè)量

• 光學(xué)元件厚度測(cè)量：測(cè)量玻璃和透鏡等透明物體的厚度

• 薄膜和鋼板的厚度測(cè)量和表面粗糙度測(cè)量

• 半導(dǎo)體晶圓的厚度測(cè)量

振動(dòng)測(cè)量

• 旋轉(zhuǎn)體振動(dòng)寬度測(cè)量：測(cè)量鉆頭和圓盤的偏心率和表面跳動(dòng)， 等。

• 振動(dòng)體振動(dòng)寬度測(cè)量和頻率測(cè)量：揚(yáng)聲器等

表面檢測(cè)

• 檢測(cè)工件是否有毛刺和劃痕

• 焊接表面的精細(xì)凸塊測(cè)量

OCT（光學(xué)相干斷層掃描）

OCT利用光學(xué)干涉對(duì)物體和人體內(nèi)部進(jìn)行斷層掃描，也可以 與光束掃描一起使用，以詳細(xì)測(cè)量三維結(jié)構(gòu)。它利用近紅外光來執(zhí)行 非破壞性和非接觸式成像，用于檢測(cè)薄膜產(chǎn)品的缺陷和檢測(cè) 用于眼科治療。

工業(yè)華僑城

• 樹脂/塑料產(chǎn)品的厚度測(cè)量和粘合區(qū)域的檢查

• 半導(dǎo)體晶圓的厚度測(cè)量

華僑城醫(yī)學(xué)

• 眼軸長度測(cè)量儀（生物計(jì)）

• 血管內(nèi)OCT：比IVUS（血管內(nèi)超聲）更高分辨率的斷層掃描